【功能组简介】

显微分析组现有球差校正透射电子显微镜、冷冻透射电子显微镜、高分辨透射电子显微镜、低压生物电镜、超高分辨扫描电镜、超低温扫描电镜、环境扫描电镜、台式扫描电镜、原子力显微镜、激光共聚焦显微镜、偏光显微镜、小动物核磁共振成像分析仪、离子减薄仪等大型仪器25台（套），并配有经验丰富的专业技术人员，为所内外提供系统、专业的显微分析与生物成像服务。同时兼顾仪器功能开发与新方法的创新，开发多场耦合条件下的微观分析技术，研究电子束曝光微纳加工及光刻胶验证技术等，提升显微分析对材料基础研究、应用研究及软物质及生物成像研究等领域的支撑能力，保障并促进科研成果产出。

【检测项目】

材料微观结构、成分与价态表征分析、缺陷表征与分析、物相分析、微纳加工、三维重构，细胞/组织成像及小动物活体检测等，主要项目包括：

透射电镜（TEM）：原子级分辨的图像与成分表征分析、冷冻透射表征分析、HRTEM/HRSTEM、选区电子衍射、三维重构、iDPC、EDS/EELS谱图表征与分析等；

扫描电镜（SEM）：高分辨材料表面微观形貌与成分分析，常温/超低温SEM表征、环境扫描表征、电子束曝光微纳加工、电子器件直写、晶圆缺陷与应力分布表征、材料晶粒大小与相成分分析等；

原子力显微镜（AFM）：材料表面形貌表征、相图表征、表面电学表征、表面磁学表征、力谱、表面定量纳米力学表征等；

激光共聚焦显微镜/小动物核磁共振成像仪：细胞、活性组织成像分析、实验动物（如大鼠、小鼠等）活体无创检测等；

偏光显微镜/金相显微镜：高分子与聚合物结晶形态表征、金属与合金晶粒观察、矿物与岩相分析、晶体缺陷表征、颗粒物分析、应力分析等。

【业务领域】

为无机材料、金属材料、陶瓷材料、能源催化材料、半导体材料与器件、电子束敏感材料等领域提供高端微观结构与成分综合表征与数据分析服务；为软物质、细胞/生物组织及小动物成像与分析提供专业系统服务；提供扫描电镜与透射电镜等相关的样品制备等服务；为所内外科研机构提供专业的技术支持、系统的解决方案。