配CID固态全谱检测器,水平轴向高灵敏及垂直径向耐基体双向观测模式,7pm高光学分辨率(200nm),光谱覆盖167nm∽847nm,可实现元素周期表中70余种常量到微量多元素同时快速定性定量分析,典型元素检出限可达到亚ppb级,并配备了耐HF特殊进样系统。
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