仪器介绍
该仪器是FEI公司开发的多功能、多用户环境的200 kV场发射透射电子显微镜。该仪器配备了STEM、EDX、HAADF、CMOS等附件,能采集TEM明场像,高分辨像,STEM-HADDF暗场像,选区电子衍射图像。可以做EDX微区能谱分析以及元素的点、线、面分布(mapping)图。
技术指标:
加速电压:200 kV
放大倍数:25 ~ 1050K
点分辨率:0.24 nm
信息分辨率:0.14 nm
STEM分辨率:0.2 nm
样品倾斜角度:< ±30°
X射线能谱仪元素分析范围:5B ~ 92U
X射线能谱仪能量分辨率:136 eV
应用范围
该仪器可用于研究材料的微观形貌、颗粒尺寸、晶体结构、晶体缺陷、界面及晶界结构、微区组成、元素分布。广泛应用于高分子材料、生物医用复合材料、无机纳米材料、金属及半导体等材料的电子显微学研究。
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