仪器介绍
分辨率0.1 nm（垂直）/2 nm（水平）；扫描范围150 μm
其它模式：LFM、相图、力调制模式、电流实时、KFM
应用范围
扫描探针显微镜是一种高分辨率成像的扫描探针技术，其核心价值在于多维度、多环境、多物性的纳米级表征能力。主要用于薄膜表面形貌分析，也可以分析薄膜的力学性能和电学性质。
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