仪器介绍

生产制造商: FEI

配备电子枪：Schottky 肖特基场发射电子枪，最大束流≥200nA

二次电子(SE) 像分辨率：

高真空模式：30 kV 时优于1.0 nm；1 kV 时优于3.0 nm 

低真空模式：30 kV 时优于1.4 nm；3 kV 时优于3.0 nm

加速电压0.2 kV～30 kV

放大倍数14 倍～100 万倍

样品台：四轴马达驱动，全对中样品台

移动范围：X = 50 mm，Y = 50 mm，Z = 50 mm，T = -15° to +75°(手动)

R= 360°连续旋转

X/Y 方向重复精度：2 μm

应用范围

可广泛应用于金属材料、无机非金属材料、冶金、汽车、生物、医学、刑侦技术等研究开发领域。其

特点是，样品制备工作便捷；低真空模式可实现无荷电成像及不导电样品的分析。