仪器介绍

生产制造商：FEI公司

该仪器配备了STEM/EDX/CCD/HAADF等多种附件，能获取TEM像、高分辨像、STEM-HAADF像和选区电子衍射图像，能进行EDX能谱分析，同时STEM结合EDX点、线、面扫描可以进行微区成分分析。

技术参数：

场发射电子枪，电子枪能量分辨率：<0.7eV

加速电压：200 kV

放大倍数：25~1030 k

点分辨率：0.24 nm

线分辨率：0.14 nm；

STEM分辨率：优于0.2 nm

样品台最大倾转角度：±30°

EDAX能谱仪 (EDS)：5B~92U；能量分辨率：~136 eV

应用范围

该仪器主要用于无机纳米材料、生物医用材料、金属及半导体材料微结构与微区组成的分析和研究，可对样品形貌、结构及其成分进行分析。在化学、物理学、生物学、医学、地质学等领域均具有广泛应用。