RTS-9型双电测四探针测试仪测量原理通过采用四探针双位组合测量技术，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上。利用电流探针和电压探针的组合变换，进行两次电测量，其最后计算结果能自动消除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游离等因素所引起的对测量结果的不利因素，从而提高了测量结果的准确性。
适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异形外延层等半导体器件和液晶玻璃镀膜层、电热膜….等导电膜的方块电阻（或称薄层电阻和面电阻）。电阻率：10-4－105 Ω.cm；
方块电阻：10-3－106 Ω/□； 电阻：10-4－105 Ω；
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