仪器介绍
生产制造商：美国KLA公司
台阶高度测试范围5 nm至1 mm；微力恒力控制：0.03 mg至50 mg；样品全直径扫描，无需图像拼接。
应用范围
探针式轮廓仪可以对材料表面的膜厚、台阶高度、粗糙度、翘曲度以及应力进行2D和3D测量，其扫描可达150 mm而无需图像拼接。广泛应用于半导体、微电子、MEMS、光学、材料科学、精密制造和质量控制等众多高科技产业和科研领域。
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