本电镜配有SE检测器、BSE检测器、EDAX能谱仪。二次电子分辨率：30KV 3nm，1KV 5nm；EDS分辨率：129ev；分析元素范围B～U。
xl-30场发射扫描电镜可以对各种干燥无挥发的固态样品的微纳米形貌、粒径大小进行观察和分析；对金属核壳结构、矿石、岩石中的金属元素、稀土元素分布；金属在非金属样品中的分布都有非常清晰直观的效果图；同时配备的能谱仪附件不仅可以对所观察的样品进行元素定性、定量分析，还可以做出元素在样品形貌上的面分布和线分布。
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